Microlithographie

Les lampes au mercure à arc court (également appelées HBO) avec une consommation électrique entre 200 W et 8 000 W sont principalement utilisées comme source de lumière dans la fabrication de puces electroniques, écrans à cristaux liquides (LCD) et cartes de circuits imprimés (PCB). Tout au long de la collaboration entre OSRAM en tant que fabricant de lampes et les fabricants des appareils ou les utilisateurs locaux, une large gamme de lampes au mercure à arc court ont été développées, permettant ainsi d’obtenir la radiation adaptée pour pratiquement chaque utilisation.

Lampes HBO pour la lithographie à exposition UV de circuits intégrés :

- Utilise l’« i-line » du spectre d’émission (365 nm) ou l’émission UV en profondeur

- Durée de vie longue, faible dégradation

Lampes HBO pour lithographie UV d’écrans plats et de circuits imprimés

- Émission maximale dans la gamme 350 nm - 450 nm

- Conçues pour un fonctionnement à intensité ou à éclairement constants

Lampes HBO pour exposition UV d’emballages, Mems, lithographie LED :

- Utilisé pour les aligneurs de masques, les procédés d’emballage avancés, l’inspection des wafers

- Gamme de 350 W à 2500 W

Applications industrielles professionnelles (EN/DE)

Lundi - Vendredi de 9h00 - 18h00