HBO Microlithography Lamps for Süss Systems

Caractéristiques produit
  • High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
  • Designed for long lasting performance
  • Designed for long lasting performance
  • Qualified with Süss
Domaines d'application
  • Microlithography
Consignes de sécurité
En raison de leur luminance élevée, des émissions d'UV et d'une pression interne élevée (si chaud), les lampes HBO ne doivent fonctionner que dans des boîtiers fermés spécialement conçus à cet effet. Il y a dégagement de mercure si la lampe est cassée. Prendre des précautions de sécurité spéciales. De plus amples informations à ce sujet sont disponibles sur demande, ou figurent dans le dépliant joint avec la lampe, ou dans les instructions d’utilisation.

En savoir plus sur la famille de produits

HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.

Produits

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Nom du produit
Puissance nominale
Tension nominale
Distance culot / foyer lumineux (LCL)
Longueur
Données
HBO 350 W/S
350 W 68 V 52,5 mm 127.0 mm
HBO 1000 W/D
1000 W 37.7 V 89,5 mm 240.0 mm
HBO 1000W/DHL
1000 W 45 V 89,5 mm 206.0 mm
HBO 5000 W/S
5000 W 50 V 143,5 mm 360.0 mm

Téléchargements