HBO Microlithography Lamps for Canon i-line Systems

Caractéristiques produit
  • High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
  • Designed for long lasting performance
  • Designed for long lasting performance
  • Qualified with Canon
Domaines d'application
  • Microlithography
Consignes de sécurité
En raison de leur luminance élevée, des émissions d'UV et d'une pression interne élevée (si chaud), les lampes HBO ne doivent fonctionner que dans des boîtiers fermés spécialement conçus à cet effet. Il y a dégagement de mercure si la lampe est cassée. Prendre des précautions de sécurité spéciales. De plus amples informations à ce sujet sont disponibles sur demande, ou figurent dans le dépliant joint avec la lampe, ou dans les instructions d’utilisation.

En savoir plus sur la famille de produits

HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.

Produits

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Nom du produit
Puissance nominale
Tension nominale
Distance culot / foyer lumineux (LCL)
Longueur
Données
HBO 1002 W/CEL
750 W 47 V 78,5 mm 175.0 mm
HBO 1500 W/CIEL
1500 W 23.0 V 122,0 mm 262.0 mm
HBO 2001 W/CIEL
2000 W 26 V 148,75 mm 327.0 mm
HBO 2002 W/MA
2000 W 37 V 138,5 mm 270.0 mm
HBO 2001 W/CIELX
2000 W 24.5 V 307.0 mm
HBO 2700 W/CIL
2700 W 26 V 149,1 mm 332.0 mm
HBO 4500 W/CIL
4500 W 30 V 157,75 mm 354.0 mm

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